Eine Publikation der Swissprofessionalmedia AG
Ausgabe 13/2020, 27.08.2020

Komplette optische Waferprüfung für µLEDs an einer Teststation

Instrument Systems bietet für μLED-Wafertesting eine einzigartige kamerabasierte Messlösung an, die 2-dimensional, pixelgenau und innerhalb vorgegebener Taktzeiten optische Analysen erstellt. Die LumiTop 4000 besitzt eine 12 MP Auflösung und detektiert kleinste Defekte und Inhomogenitäten auf dem Wafer. Dank 100 mm Makro-Objektiv ermöglicht die Kamera eine schnelle parallele Inline-Analyse aller μLEDs auf einem Wafer in einer einzigen Teststation. Die dazugehörige LumiSuite-Software ermöglicht vielseitige Analysen der Messergebnisse. So ist unter anderem die Erstellung einer Pixel-Intensity-Map bzw. Farb-Map möglich. Algorithmen können über wählbare Kriterien nach Pixeldefekten suchen und diese markieren. Die LumiTop-Systeme sind für den Einsatz im Labor als auch in der Produktionslinie bestens geeignet.  

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