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Sehr feine Prüfdrähte mit sechsfacher Leitfähigkeit für die Qualitätskontrolle: Ausgabe 14/2019, 05.09.2019

Technologiesprung in der Chipindustrie

Mit bis zu sechsfacher Leitfähigkeit und einem um 50 % reduzierten Durchmesser toppen diese Prüfdrähte aus einer Rhodiumlegierung Standardmaterialien für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie. Damit erreicht man eine neue Dimension der Qualitätssicherung in der Mikroprozessorherstellung.

Die feinen Drähte von Heraeus Precious Metals sind selbst dann einsetzbar, wenn Standarddrähte längst an ihre Grenzen stossen. Hersteller von Prüfkarten für die Halbleiter- und Elektronikindustrie benötigen den Draht, um daraus Nadeln für die Prüfung von Wafern zu fertigen. Sie müssen ihre Prüfkarten anpassen, um die Herausforderungen der fortschreitenden Miniaturisierung zu meistern.

Über zwei- bis sechsfache Leitfähigkeit
Die Schlüsselmerkmale eines guten Prüfdrahtes sind die elektrische Leitfähigkeit, Härte und eine dünne Geometrie. In puncto Leitfähigkeit setzen diese Drähte eine neue Benchmark. Sie liegt bei über 30 % IACS (International Annealed Copper Standard), die konventioneller Drähte bei 5 bis 14 % IACS. Die Drähte sind elastisch und weisen gleichzeitig eine hohe mechanische Festigkeit auch bei hohen Temperaturen auf. So sind sie über viele Belastungszyklen verwendbar. Je nach Bedarf nutzt der Technologiekonzern unterschiedliche Edelmetalle wie beispielsweise Palladium, Platin oder Rhodium, um gerade Drähte auf Spulen oder als Drahtabschnitte herzustellen.

Bis zu 50 % feiner als der Standard Die Qualitätskontrolle ist das Herzstück der Halbleiterproduktion. Auf einem Wafer befinden sich bis zu mehrere Hundert Halbleiterchips, von denen jeder einzelne zu 100 % auf Funktionsfähigkeit zu prüfen ist. Aufgrund der fortschreitenden Miniaturisierung der Transistoren eines Chips und der damit einhergehenden steigenden Anzahl von Transistoren pro Chip sind kontinuierlich dünnere Prüfnadeln auf engstem Raum notwendig. Derzeit bis zu 30 000 auf der Grösse einer Briefmarke. Diese Prüfdrähte sind mit einem Durchmesser von unter 20 µm nur etwa ein Viertel so dick wie ein menschliches Haar und bis zu 50 % feiner als Standarddrähte. Damit erlauben sie neue Massstäbe für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterherstellung.

Neue Technologien verlangen nach kleineren Chips
«Unsere neuen Prüfdrähte sind Hochleistungsmaterialien. Sie erlauben unseren Kunden vollkommen neue Möglichkeiten für die Qualitätssicherung in der Mikroprozessorherstellung und stärken ihre Poleposition», erläutert André Christl, Präsident Heraeus Precious Metals. «Die neuen Chiptechnologien im Mobilfunk – wie jetzt 5G – kreieren für die Hersteller von Smartphones und Tablets einen wachsenden Bedarf an leistungsfähigeren, immer kleiner werdenden Chips.» An diesem Geschäftspotenzial will Heraeus mit den Kunden in Asien, den USA und Europa partizipieren.

Infoservice
Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG
Heraeusstr. 12 – 14, DE-63450 Hanau
Tel. 0049 6181 350
precious.metals@heraeus.com, www.heraeus.com



Die Mitarbeiterin an der Feindrahtzuganlage prüft die Position des Ziehsteins für die Geradheit des Prüfdrahts