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Kundenspezifische Fertigung genauer MEMS-Inertialsensoren

Die hochgenauen kapazitiven Inertialsensoren messen Neigung, Beschleunigung und Vibration und bestehen aus einem speziell hergestellten Siliziumsensorelement in Verbindung mit einer ASIC-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse. Sie erreichen je nach Bandbreite Auflösungen von 10 µg bzw. 0,0005° (2 Bogensekunden) und können sowohl mechanisch als auch elektrisch auf die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden. Zu den Stärken des Produkts zählen seine geringen Querempfindlichkeiten, grosse Signalrauschabstände und eine hervorragende Temperaturstabilität. Typische Anwendungen sind Geo-Engineering, Zustandsüberwachung, Navigation, Robotik sowie Systeme zur Ausrichtung, Positionierung und Nivellierung.

 

First Sensor AG

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