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Antriebe für anspruchsvolles ­Positionieren im Ultrahochvakuum

Die Picomotor-Aktuatoren der Serie 83xx-UHV-NM sind leistungsfähige Antriebe für das hochpräzise Positionieren im Ultrahochvakuum. Mit Verstellwegen von 12,7 oder 25,4 mm und Schrittweiten kleiner als 30 nm eignen sich die nichtmagnetischen Picomotor-Antriebe dieser Serie ebenfalls ideal für Anwendungen, die eine niedrige magnetische Suszeptibilität und Permeabilität erfordern. Konstruktionsbedingt bewegen sich Picomotoren nur, wenn Spannung auf die Piezokeramik des Antriebs angelegt wird. Dies bietet Anwendern die Sicherheit eines absolut stabilen Systems, auch ohne Spannungsversorgung. Die Picomotoren können Stellkräfte bis zu 22 N aufbringen und überzeugen durch eine ausgezeichnete Langzeitstabilität und hohe Steifigkeit bei einer besonders kompakten Bauweise.

 

Newport Spectra-Physics GmbH

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