Der Massendurchflusssensor PFLOW zeichnet sich durch eine sehr hohe Resistenz gegenüber Verstopfungen und Druckstossen aus. Die MEMS-Technolo-gie erlaubt eine Wärmeisolation ohne fragile, dünne Membrane oder Oberflächenvertiefungen. Der Luftstromsensor beeindruckt zudem durch eine hohe Sensitivität bei geringen Strömen. Er eignet sich deshalb ideal für medizinische und andere anspruchsvolle Anwendungen in der Prozessindustrie. Erhältlich sind fünf Standardmessbereiche zwischen 0 bis 10 sccm und 0 bis 2000 sccm sowie auf Kundenwunsch spezifische Bereiche zwischen 10 und 2000 sccm. Der Sensor bietet eine Genauigkeit von mehr als ±20 % FS, der temperaturkompensierte Analog-Output ist zudem hochlinear zum Luftstrom. Seine Reaktionszeit ist mit 1 bis 3 ms sehr gering.
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