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Zweiachsiger MEMS-Beschleunigungsmesser

Die Produktfamilie Gemini von Silicon Sensing bietet eine gute Wiederholbarkeit des systematischen Fehlers in einem hermetisch abgedichteten LCC-Gehäuse, das eine hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber Temperaturen und Feuchte sowie den vollen Umweltschutz gewährleistet. Dieses Betriebsverhalten wird durch ein Paar von rechtwinklig zueinander angeordneten gefederten Massen erreicht, welche die bewegliche Platte eines veränderlichen Kondensators bilden, der aus einer Anordnung sich überlappender Finger besteht. Die Abmessungen von 10,4x6,0x2,2 mm und der geringe Stromverbrauch der Gemini-Baureihe vergrössern den Anwendungsbereich der Bauelemente noch weiter. Bei einer Spannungsversorgung von 3,3 V beträgt der Stromverbrauch 3 mA.

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