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Die heutigen und künftigen Grenzen der Mikroaktorik

Unter dem nicht eindeutigen Begriff «Mikroaktorik» versteht man einerseits Antriebe und Antriebsvorrichtungen, die exakte Positionierungen im Mikrometerbereich erlauben. Andererseits meint man damit auch sehr kleine Aktoren, die Komponenten enthalten, deren Abmessungen einige 100 µm betragen. faulhaber